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      特種氣體
      
      
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      三甲基硅烷C3H10Si
      
                
      三甲基硅烷C3H10Si
      
                
      
           產品詳情：

      
	
		
      
			
				
      
					三甲基硅烷（C3H10Si）Trimethylsilane
				
      
			      		
		
      
		
      
			
				
      
					 
				
      
			      		
			
				
      
					
      
				
      
			      		
		
      
		
      
			
				
      
					化學式
				
      
			      		
			
				
      
					C3H10Si
				
      
			      		
		
      
		
      
			
				
      
					中文名稱
				
      
			      		
			
				
      
					三甲基硅烷
				
      
			      		
		
      
		
      
			
				
      
					英文名稱
				
      
			      		
			
				
      
					Trimethylsilane
				
      
			      		
		
      
		
      
			
				
      
					CAS No.
				
      
			      		
			
				
      
					993-07-7
				
      
			      		
		
      
		
      
			
				
      
					規格
				
      
			      		
			
				
      
					47L/20KG
				
      
			      		
		
      
		
      
			
				
      
					充裝系數
				
      
			      		
			
				
      
					 
				
      
			      		
		
      
		
      
			
				
      
					應用
				
      
			      		
			
				
      
					應用于半導體工業SiCN擴散阻擋層制備工藝，沉積低介電常數的銅擴散阻擋層或刻蝕停止層，采用等離子體輔助化學氣相沉積方法PECVD制得
				
      
			      		
		
      
		
      
			
				
      
					產品規格
				
      
			      		
			
				
      
					≥99.999%
				
      
			      		
		
      
	      

      
               
      
        
      
      
    
      
    
    
  

    
      
    
      
      
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