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六氟乙烷，又稱全氟乙烷，是乙烷中六個氫原子全部被氟原子取代后的產物，是鹵代烴（化學式：C2F6），亦是烴類化合物乙烷所對應的全氟化合物，是一種不易燃的氣體，難溶于水，微溶于醇。六氟乙烷可用于一種具多功能的蝕刻技術，常見于半導體之生產。它可用于金屬硅化物及金屬氧化物并相對其金屬基質的選擇性蝕刻。叧外，它亦用于蝕刻硅上的二氧化硅。六氟乙烷可連同三氟甲烷一起用于制冷劑R508A（六氟乙烷占61%）及R508B（六氟乙烷占54%）。

產品詳情

產品純度

99.999%

產品包裝

規格齊全，按客戶要求配置。

產品用途

1、電子工業：六氟乙烷作為等離子蝕刻工作氣體在發展微電子工業方面起著重要作用，是加工超大規模集成塊工藝中所必需的介質；

2、制冷空調業：六氟乙烷右用做制冷和空調的冷媒。六氟乙烷還可與HFC-23組成不損害臭氧層的共沸劑R-508B,R-508B用做多級壓縮循環中在低溫段替代CF-13和R-503的替代物；

3、化學工業：六氟乙烷可用做化學反應中的添氟劑；

4、電力工業：六氟乙烷可用做電氣設備的絕緣劑和高介電強度冷卻劑；

5、其它：六氟乙烷可用于器件表面清洗，還可用于光纖生產。