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      電子氣體
      
      
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      三氟化氮
      
                
      三氟化氮
      
                
      
           
      
	
      
		產品介紹
	
      
	
      
		
      
			     三氟化氮是用作氟化氫-氟化氣高能化學激光器的氟源，在h2-O2 與F2之間反應能的有效部分(約25%)可以以激光輻射釋放出，所HF-OF激光器是化學激光器中最有希望的激光器。三氟化氮是微電子工業中一種優良的等離子蝕刻氣體，對硅和氮化硅蝕刻，采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳與氧氣的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性，而且對表面無污染，尤其是在厚度小于1.5um的集成電路材料的蝕刻中，三氟化氮具有非常優異的蝕刻速率和選擇性，在被蝕刻物表面不留任何殘留物，同時也是非常良好的清洗劑。
		
      
		
      
			
      
		
      
		
      
			注意事項：
		
      
		
      
			image.png
		
      
	
      

      

      
	
      
		理化特性
	
      
	
      
		
			
      
				
					化學式
				
				
					NF3
				
				
					危險貨物編號
				
				
					23016
				
			
      
			
      
				
					理化性質
				
				
					外觀與性狀
				
				
					無色刺激氣體
				
				
					飽和蒸汽壓（kpa）
				
				
					＞101.35（20°）
				
			
      
			
      
				
					熔點（℃）
				
				
					-208.5℃  
				
				
					相對密度(空氣=1)
				
				
					2.46
				
			
      
			
      
				
					沸點（℃）
				
				
					-129℃
				
				
					臨界溫度（℃）
				
				
					-39.3℃
				
			
      
			
      
				
					毒性及健康危害
				
				
					侵入途徑
				
				
					吸入。
				
			
      
			
      
				
					健康危害
				
				
					吸入該物質會引起呼吸道不適，本產品低毒，但是它能強烈刺激眼睛和皮膚黏膜，腐蝕組織
				
			
      
			
      
				
					急救方法
				
				
					吸入時，迅速脫離現場至空氣新鮮處，保持呼吸道通暢，不可進行口對口人工呼吸，就醫；立刻脫掉污染衣服，用大量水沖洗，并給予醫療護理；眼睛接觸時，用水徹底沖洗至少15分鐘，就醫
				
			
      
		      
	
      
	
      
		 
	
      

      

      
	
      
		技術指標
	
      
	
      
		
      
			 
		
      
		
      
			
				
      
					
						產品規格
      
					      		
					
						
      
							99.9%
						
      
					      		
					
						99.99%
      
					      		
					
						99.995%
					
				
      
				
      
					
						
      
							四氟化碳（CF4）
						
      
					      		
					
						
      
							
						
      
						
      
							≤500ppm
						
      
						
      
							
						
      
					      		
					
						
      
							
						
      
						
      
							
						
      
						
      
							≤40ppm
						
      
						
      
							
						
      
						
      
							
						
      
					      		
					
						
      
							≤20ppm
						
      
					      		
				
      
				
      
					
						
      
							氮氣（N2）
						
      
					      		
					
						
      
							
						
      
						
      
							
						
      
						
      
							≤50ppm
						
      
						
      
							
						
      
						
      
							
						
      
					      		
					
						
      
							
						
      
						
      
							
						
      
						
      
							≤5ppm
						
      
						
      
							
						
      
						
      
							
						
      
					      		
					
						
      
							
						
      
						
      
							≤5ppm
						
      
						
      
							
						
      
					      		
				
      
				
      
					
						
      
							氧+氬（O2+Ar）
						
      
					      		
					
						
      
							≤50ppm
						
      
					      		
					
						
      
							
						
      
						
      
							≤5ppm
						
      
						
      
							
						
      
					      		
					
						
      
							
						
      
						
      
							≤3ppm
						
      
						
      
							
						
      
					      		
				
      
				
      
					
						
      
							二氧化碳（CO2）
						
      
					      		
					
						
      
							
						
      
						
      
							≤10ppm
						
      
						
      
							
						
      
					      		
					
						
      
							
						
      
						
      
							≤5ppm
						
      
						
      
							
						
      
					      		
					
						
      
							
						
      
						
      
							≤1ppm
						
      
						
      
							
						
      
					      		
				
      
				
      
					
						
      
							水（H2O）
						
      
					      		
					
						
      
							
						
      
						
      
							
						
      
						
      
							≤1ppm
						
      
						
      
							
						
      
						
      
							
						
      
					      		
					
						
      
							
						
      
						
      
							
						
      
						
      
							≤1ppm
						
      
						
      
							
						
      
						
      
							
						
      
					      		
					
						
      
							
						
      
						
      
							≤1ppm
						
      
						
      
							
						
      
					      		
				
      
				
      
					
						
      
							酸份（以HF計）
						
      
					      		
					
						
      
							
						
      
						
      
							
						
      
						
      
							≤1ppm
						
      
						
      
							
						
      
						
      
							
						
      
					      		
					
						
      
							
						
      
						
      
							≤1ppm
						
      
						
      
							
						
      
					      		
					
						
      
							
						
      
						
      
							≤1ppm
						
      
						
      
							
						
      
					      		
				
      
				
      
					
						
      
							
						
      
						
      
							六氟化硫（SF6）
						
      
						
      
							
						
      
					      		
					
						
      
							
						
      
						
      
							
						
      
						
      
							≤25ppm
						
      
						
      
							
						
      
						
      
							
						
      
					      		
					
						
      
							
						
      
						
      
							
						
      
						
      
							≤2ppm
						
      
						
      
							
						
      
						
      
							
						
      
					      		
					
						
      
							
						
      
						
      
							≤1ppm
						
      
						
      
							
						
      
					      		
				
      
				
      
					
						
      
							氧化亞氮（N2O）
						
      
					      		
					
						
      
							
						
      
						
      
							
						
      
						
      
							≤10ppm
						
      
						
      
							
						
      
						
      
							
						
      
					      		
					
						
      
							
						
      
						
      
							
						
      
						
      
							≤5ppm
						
      
						
      
							
						
      
						
      
							
						
      
					      		
					
						
      
							
						
      
						
      
							≤1ppm
						
      
						
      
							
						
      
					      		
				
      
				
      
					
						一氧化碳（CO）
					
					
						
      
							≤10ppm
						
      
					      		
					
						
      
							≤5ppm
						
      
					      		
					
						
      
							≤0.5ppm
						
      
					      		
				
      
			      
		
      
	
      

               
      
        
      
      
    
      
    
    
  

    
      
    
      
      
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