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乙硼烷混氫氣

乙硼烷混氫氣



Components	含量 Content
	≥0.1%
	Balance（平衡氣）
Components	規格 Specification
	99.999%
	≤2 ppmv
	≤0.5 ppmv
	≤2 ppmv
	≤4 ppmv
	≤100 ppmv
	≤ 50ppmv
	≤180 ppmv
	≤10 ppmv
	≤10 ppmv
	99.9999%
	≤0.5 ppmv
	≤0.5 ppmv
	≤0.5 ppmvv
	≤0.1 ppmv
	≤0.1 ppmv
	≤0.1 ppmv
包裝規格
	47L
	100 bar
	CGA350/DISS632
	23x140

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