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      高純氣體
      
      
      高純氣體
      
    
      
    
    
      

    
      
      
      
        
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      高純六氟化硫
      
                
      
           
      
	六氟化硫技術指標

      

      
	
      
		 
	
      
	
      
		
			
      
				
					產品規格
      
				      		
				
					
      
						99.995%
					
      
				      		
				
					99.999%
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						氧氣(O2)+ 氮氣(N2)
					
      
				      		
				
					
      
						≤10ppm
					
      
				      		
				
					
      
						≤2ppm
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						四氟化碳(CF4)
					
      
				      		
				
					 ≤1ppm
				
				
					
      
						≤0.5ppm
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						六氟乙烷(C2F6)
					
      
				      		
				
					
      
						≤1ppm
					
      
				      		
				
					
      
						/
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						八氟丙烷(C3F8)
					
      
				      		
				
					
      
						≤1ppm
					
      
				      		
				
					
      
						≤1ppm
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						SO2F+SOF2+S2F10O
					
      
				      		
				
					
      
						≤1ppm
					
      
				      		
				
					
      
						≤1ppm
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						
					
      
					
      
						甲烷 (CH4)
					
      
					
      
						
					
      
				      		
				
					
      
						/
					
      
				      		
				
					
      
						≤1ppm
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						一氧化碳(CO)
					
      
				      		
				
					
      
						/
					
      
				      		
				
					
      
						≤1ppm
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						二氧化碳(CO2)
					
      
				      		
				
					
      
						/
					
      
				      		
				
					
      
						≤1ppm
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						水(H2O)
					
      
				      		
				
					
      
						≤2ppm
					
      
				      		
				
					
      
						≤1ppm
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						露點（℃）
					
      
				      		
				
					
      
						≤-62℃
					
      
				      		
				
					
      
						≤-69℃
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						酸度(As HF)
					
      
				      		
				
					
      
						≤0.2ppm
					
      
				      		
				
					
      
						≤0.1ppm
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						可水解氟化物(As HF)
					
      
				      		
				
					
      
						≤1ppm
					
      
				      		
				
					
      
						≤0.8ppm
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						 礦物油
					
      
				      		
				
					
      
						≤1ppm
					
      
				      		
				
					
      
						N/D
					
      
				      		
			
      
		      
	
      
	
      
		
      
	
      

               
      
        
      
      
    
      
    
    
  

    
      
    
      
      
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      特種氣體
      
             
              	
      高純氣體
      
             
              	
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      標準氣體
      
             		
      
		
      
			
      掃描二維碼
      
			
			
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