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高純六氟化硫在常溫常壓條件下為氣態,溫度降低后在一定的壓力作用下較易液化為液態。當環境溫度升高后,其對應的液化壓力相應升高,成為不易液化的氣體。當溫度超過SF6的臨界溫度45.55℃時,就元法使其液化。又因為高純六氟化硫為惰性氣體,與油不相溶,所以可以比較容易地分離出所混入的油分。采用國際先進技術,濾油水平已達到與無油系統相媲美的程度,可以相當徹底地清除油分。

SF6回收凈化裝置的主要優點是將回收的SF6氣體以液體形式直接儲存在儲罐中，并將氣體絕緣開關設備中的殘余壓力恢復到53 kPa（絕對壓力）。體積小，便于移動和放置，吸氣速度快，可對回收的SF6氣體進行干燥和過濾，也可將SF6氣體重新裝入SF6電氣設備。六氟化硫回收凈化一體化過濾吸附系統吸附SF6氣體中的雜質、水分、分解產物和油，一體化設計，體積小，便于移動和使用。目前,在國際上高純六氟化硫回收充氣裝置的回收儲存原理主要有兩種,一種采用冷凍液化法原理:即在SF6氣體回收的過程中,在一定的SF6氣體壓力下,利用制冷機組使SF6氣體溫度降低至該壓力下的飽和蒸汽溫度,SF6氣體開始液化為液體,并以液體形式進行儲存,優點是回收速度快、液化速度快。另一種是采用高壓液化法原理,即在高純六氟化硫回收的過程中,在當時的環境溫度下,利用壓縮機將SF6氣體壓力提高至該溫度下的飽和蒸汽壓力,SF6氣體開始轉化為液體,并以液體形式進行儲存。

六氟化硫回收凈化裝置的優點是系統簡單,缺點是系統工作壓力高,回收效率低,當SF6氣體溫度(SF6氣體經壓縮機壓縮后溫度可達到80℃以上)超過臨界溫度45.55℃時,就無法使其液化,此時高溫高壓的SF6氣體只能經過一段時間后待其溫度降至臨界溫度以下時才能轉化為液體。