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三氟化氯是一種無機化合物，分子式為ClF3。 該物質氣態為淡黃色，有毒，腐蝕性強，液態時為黃綠色工業氣體。 工業氣體通常被壓縮成液體出售。 這種物質的主要用途是火箭燃料、半導體工業中的清潔和蝕刻、核反應堆加工燃料以及許多其他用途。

ClF3 是一種強氧化劑和氟化劑。 它與大多數有機和無機材料甚至塑料發生反應，使許多材料在不接觸點火源的情況下燃燒。這些反應通常是劇烈的，在某些情況下甚至是爆炸性的。與某些金屬反應生成氯化物和氟化物，與磷反應生成三氯化磷和五氟化磷，與硫反應生成二氯化硫和四氟化硫。ClF3還與水發生劇烈反應，水解產生氟化氫等有毒物質。H2S 在室溫下與ClF3 混合會發生爆炸。

這種物質自然是劇毒的，但這不是最重要的問題，它會在遇到任何燃料時燃燒，而且它發生得如此之快以至于點火延遲無法測量。工業氣體與衣服、木材和測試工程師接觸時會燃燒。一些常識性的不燃物質，如石棉、沙子、水等，與三氟化氯接觸也不能幸免，尤其是與水發生反應引起爆炸。在一次工業事故中，900 公斤的 ClF3 泄漏燒穿了 30 厘米的混凝土和 90 厘米的礫石。 任何與三氟化氯接觸的設備都必須仔細選擇和清潔，因為任何污染可以點燃接觸物。