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      三氟化氯ClF3的物理性質
      
        
        
          
      • 發布時間：2022-09-26
        • 
          
      • 發布者： 本站 
        • 
          
      • 來源： 原創 
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	三氟化氯 - 基本信息

      

      
	
      
		
			
      
				
					中文名
				
				
					三氟化氯
      
				      		
			
      
			
      
				
					英文名
				
				
					Chlorine trifluoride
      
				      		
			
      
			
      
				
					別名
				
				
					三氟化氯
      
				      		
			
      
			
      
				
					英文別名
				
				
					CHLORINE TRIFLUORIDE
      
				      		
			
      
			
      
				
					CAS
				
				
					7990-91-2
      
				      		
			
      
			
      
				
					化學式
				
				
					ClF3
      
				      		
			
      
			
      
				
					分子量
				
				
					92.45
				
			
      
			
      
				
					物化性質
				
				
					理化性質 三氟化氯（ClF3）是一種很強氧化劑和氟化劑。它能大多數有機和無機材料甚至塑料反應，可以使許多材料不接觸火源就燃燒。這些反應通常很劇烈，在某些情況下甚至會爆炸。 它與一些金屬反應生成氯化物和氟化物，與磷反應生成三氯化磷和五氟化磷，而與硫反應生成二氯化硫和四氟化硫。ClF3也與水劇烈反應，水解產生有毒物質，例如氟化氫。H2S在室溫下與ClF3混合就會爆炸。
				
			
      
			
      
				
					產品用途
				
				
					用途 三氟化氯（CIF3）是一種用于清洗化學氣相沉積腔室及其管道清洗的重要的電子特氣。與其他含氟氣體（如NF3、C2F6和CF4）不同，三氟化氯在室溫下就能夠與半導體材料進行反應，因此它可以清洗冷壁CVD腔室。用三氟化氯進行清洗是一種化學刻蝕過程，腔室的熱量足以使其分解并與半導體材料反應，不存在等離子體那樣的高能離子轟擊過程，對設備的損壞可以降低到最低限度。相比等離子裂解制氟工藝，三氟化氯清洗工藝簡單而高效，且清洗效果更好。
				
			
      
			
      
				
					危險品運輸編號
				
				
					UN 1749 2.3
				
			
      
			
      
				
					Hazard Class
				
				
					2.3
				
			
      
		      
	
      

               
      
        
      
      
    
      
    
    
  

  
  
      
  
      

      





      
	
      
		
      
			
			
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